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KGD测试分选系统
高温适配 精准筛选 高效量产 成本控制
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/ KGD测试分选系统
可靠性测试
·UIS最高支持3KV、SC最大支持3000A
高效率
·创新Handler与Tester架构实现更高效率,根据客户需求与测试内容,综合UPH可达4K
高精度
·低杂感、低接触电阻确保信号可靠纯净,提高测试精度。测试回路杂感<50nH,die接触电阻<10mQ
静态测试
·支持3KV/600A的电压和电流
动态测试
·支持2KV/1500A的电压和电流
高稳定性
·测试环境通过高温/常温氮气形成惰性氛围保护,防止电弧产生。其中高温测试环境可达175°C士2°C
Specifications
技术规格
SIC KGD
兼容产品:SiC/lGBT bare die
来料形式:WAFER6/8英寸;Tape&Reel以及定制Tray
芯片尺寸:2mm*2mm~8mm*8mm
芯片厚度:80um~600um
设备CT:<700ms(含测试)
主要测试项目:动态/静态/US/SC等
测试环境:高温/常温
温度范围:常温~200℃
温度稳定性:士2℃,分辨率0.1°C
产品保护:氮气/干燥空气(去氧)
放置位置精度:士30um@3σ
放置角度:±0.5°@3σ
正反面视觉检测:检测精度>10um,对比度>30可检)缺陷种类:划痕、脏污、异物、炸点、缺角、崩边等
侧面视觉检测:检测精度>20um,对比度>30可检;缺陷种类:崩边、凹坑、崩角
运行稳定性:MTBF>168h: MTBA>2h
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(86)020-84867806
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