PNP6600 W 高精度晶圆级固晶设备

可支持助焊剂喷涂及倒装蘸助焊剂工艺,兼容320*320mm 晶圆级的倒装生产制程
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高精度
·±5μm  @3σ 贴装精度
·±0.1°@3σ 旋转精度
·MAX 1.7μm视觉精度
·贴合范围300*200mm

蘸助焊剂
·支持蘸助焊剂生产工艺
·支持芯片尺寸:MAX 50*50mm

芯片倒装

·支持倒装芯片生产工艺

助焊剂喷涂
·支持助焊剂喷涂

自动标定

·精度自动标定

·热变形自动补偿

多机连线

·支持多机连线,以匹配不同制程需求

PROCESS工艺流程

Specifications技术规格
PNP 6600 W
  • X/Y贴装精度±5um@3σ(标定片)

  •  旋转精度±0.1°@3σ(标定片)

  • Bondhead旋转角度:0~360°

  • CPH ±10um:2500(标准片)

  • 支持芯片尺寸:0.15~50mm

  • 支持最大基板尺寸:300*200mm

  •  Bondforce可选配10~1000gf,50~5000gf

  • 选配助焊剂喷涂模块

  • 选配上料平台

  • 选配下料平台

  •  选配Wafer loder自动送料模块

  • 选配吸嘴库

  • 选配顶针库

  • 支持基板类型:lead-frame、strips、6~12in wafer

  • 支持芯片类型:6~12in wafer

  • 设备尺寸:1600*1650*1700mm

  • 工作气压:0.4~0.6Mpa

  • 设备重量:2000kg

  •  电源:220V 50/60 Hz/2.5kVA

  • 工作环境:23±3℃/40%~60% RH


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(86)020-84867806
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